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净化工程要控制温湿度具体措施有哪些
编辑:杭州豪俊净化工程有限公司   发布时间:2022-08-31

净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提,工艺对温湿度的要求也越来越高,达到定的温湿度等。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以有±0.1度的恒温,同时要求湿度值般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

    湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化工程要控制温湿度具体有什么措施?

    然而对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持般应符合以下原则:

    洁净度别高的空间的压力要高于相邻的洁净度别低的空间的压力。

     洁净室之间的门要开向洁净度别高的房间。


    洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

    压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。