一、净化工程的工艺布置和设计应符合下列要求：

1、布局合理紧凑。洁净室或洁净区仅配备必要的工艺设备、工序和有空气洁净度要求的工作间。

2、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区应靠近空调室，空气洁净度等级相同的工艺和车间应集中布置，空气洁净度较低的车间应布置在洁净区人口附近。

3、净化工程中，要求空气洁净度高的工艺布置在上风侧，易造成污染的工艺设备布置在回风出口附近。

4、净化工程应考虑大型设备安装、维修的运输路线，并预留设备安装检修口。

二、净化工程振动控制

1.净化工程及辅助站房、通向洁净室的管道等振动较大的设备（包括水泵等）应采取主动隔振措施。

2.对于净化厂内外的各种振动源，应测量其对净化厂的综合振动影响。若受条件限制，也可根据经验评价综合振动效果。应与精密设备和精密仪器的环境振动允许值进行比较，以确定必要的隔振措施。

3.精密设备和仪器的隔振措施应考虑在净化工程中减少发生和保持合理配风的要求，采用空气弹簧隔振台座时，应对气源进行处理，使其达到净化工程的空气洁净度水平。