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洁净室净化工程的气流式
编辑:杭州豪俊净化工程有限公司   发布时间:2020-03-24

洁净室净化工程的气流式

所谓洁净室净化工程,就是控制产品(如硅片等)接触到的大气的清洁度、温度和湿度,以便生产

产品可以在良好的环境下生产和制造。这个空间的设计和施工过程可以称为净化工程。可分为混沌流动型,层流型。

一、湍流类型

空气从空调箱通过洁净室的风道和高效空气过滤器进入洁净室,从洁净室两侧的隔室壁板进入洁净室地板回风。气流是非线性的,呈现不规则的湍流或涡流状态。此类型适用于1000级-100000级。优点:结构简单,系统建设成本低,易于扩展洁净室,在一些特殊使用场所,还可以使用无尘工作台,提高洁净室的档次。缺点:室内漂浮的湍流产生的粉尘颗粒不易排出,易污染染色工艺产品。此外,如果系统停止并重新启动,则需要相当长的时间才能达到所需的清洁度。

层流空气流动成一条均匀的直线。空气通过覆盖的过滤器进入房间,并通过高架地板或两侧隔板回风。适用于洁净室等级要求较高的环境。一般洁净室等级为1-100级。它可以分为两种类型:

(1) 水平层流式:水平空气由过滤器单向吹出,由对壁回风系统回流,粉尘随风排出下游地区室外污染普遍严重。

优点:结构简单,术后短时间内稳定。缺点:造价高于紊流式,室内空间不易扩展冲锋。

(2) 垂直层流式:房间顶棚采用ULPA过滤器全覆盖,空气自上而下吹,洁净度更高工艺或工作人员产生的粉尘可迅速排出室外,不影响其他工作区域。

优点:易于管理,从操作开始在短时间内稳定,不易受操作状态或操作人员的影响。

缺点:施工成本高,弹性空间使用困难,吊顶吊杆占用空间,过滤器维护更换麻烦