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电子厂净化车间工程的设计标准
编辑:杭州豪俊净化工程有限公司   发布时间:2021-10-29

电子净化车间的设计

以芯片生产车间、集成电路无尘车间和磁盘制造车间为代表的电子净化车间工程,除了对微粒的严格控制外,还对温湿度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更严格,消除静电对生产产品的影响,从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求

电子净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

 电子净化车间洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

  电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值。

  补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

  保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40㎡。