无尘净化车间的操作应用

洁净室的空气流速/空气交换时间一直是洁净室设计中要考虑的问题。无论建议值还是参考值都是保守的，都已经提出了相关的规格和指南，例如加强对洁净室污染源的控制和提高最终过滤器的效率。讨论；人们对FFU应用程序担心的噪音，损坏和维修问题实际上已经得到解决。随着FFU的不断改进，是否使用FFU回风系统也是一个热点：越来越多地提到控制空气传播的分子污染（AMC），并引起了微电子和IC行业议程的关注。这些问题的状态在下面进行了总结和分析。

在洁净室中特定洁净度水平下的空气速度的确定取决于特定条件，例如洁净室的使用。不仅室内灰尘的数量和过滤器的效率，还有其他因素。影响风速的程度和选择的因素有：

（1）室内污染源：建筑部件，人员和操作活动，过程设备，过程材料以及过程本身都是粉尘颗粒的来源，这些粉尘颗粒会根据特定条件而变化并且差异很大。

（2）房间内的气流模式和分布：单向流动需要均匀且相等的流线，但由于工艺设备的布局和位置以及人类活动的变化，会形成局部涡流。 。非单向流动需要充分混合，避免死点和温度分层。